Equipement semi-conducteur
Caractérisation approfondie du comportement des actionneurs piézoélectriques pour les applications de nanopositionnement
Problème
Un fabricant d’équipements pour semi-conducteurs devait comprendre les véritables limites de performance des plateformes de mouvement entraînées par actionneurs piézoélectriques ; plus précisément, s’il pouvait atteindre de manière fiable une répétabilité au niveau nanométrique et des temps de stabilisation rapides.
Solution
Pour obtenir des données pertinentes, nous avons conçu un banc d’essai dédié, isolant un actionneur unique sur des guides sans contact et sans frottement, éliminant ainsi les forces parasites susceptibles de masquer la véritable réponse du piézoélectrique. Piloté par DSpace, le banc nous a offert une flexibilité totale, un contrôle précis et des mesures de haute fidélité tout au long de la campagne de caractérisation.
Résultat
Six mois se sont écoulés entre la conception initiale et la livraison des résultats complets. Nous avons produit un rapport de test exhaustif documentant les points forts et les limites concrètes de la technologie d’actionnement piézoélectrique, fournissant ainsi à notre client les éléments probants nécessaires à la prise de décisions techniques éclairées..