Equipment semi-conducteur
Axe de nano-positionnement haute vitesse Z-Rz
Problème
Un fabricant d’équipements pour semi-conducteurs avait besoin d’un module Z-Theta positionné directement au-dessus de la plaquette, alliant une répétabilité nanométrique sur les six degrés de liberté à une accélération élevée et des temps de stabilisation minimaux. Aucune solution standard n’existait sur le marché.
Solution
Nous avons réalisé une analyse architecturale structurée pour sélectionner le concept et les composants optimaux, puis nous avons procédé à la conception, au prototypage et à une validation rigoureuse, avec une précision nanométrique comme contrainte absolue à chaque étape. Des revues hebdomadaires avec le client ont assuré une visibilité et un contrôle complets tout au long du processus.
Resultat
Dix mois pour passer de la page blanche au prototype validé. Malgré d’importantes incertitudes initiales quant à la faisabilité, nous avons respecté toutes les spécifications techniques dès la première version et livré l’intégralité des fichiers natifs et de la documentation.